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Hamburg

09 2017

Aus alt mach neu

Im Auftrag der Minebea Intec GmbH wurde ein Konzept für die Erneuerung eines rund 30-jährigen Belichtungsgerätes (Fa. Süss) für die Herstellung von Dehnungsmessstreifen und Metallsensoren erarbeitet und umgesetzt. Eine moderne Schaltanlage mit entsprechender Programmierung ersetzte die alte Platinensteuerung.

Mit dem Gerät wird eine Maske über einem Substrat justiert und dieses belichtet – entweder im direkten Kontakt oder mit einem gewissen Abstand. Besonders das Abstandsverfahren verlangte knifflige Programmierarbeiten, denn um die Maske exakt parallel zum Substrat auszurichten, wird ein sogenannter Keilfehlerausgleich im Mikrometerbereich nötig. Die Berechnung kann nicht per Algorithmus erfolgen, sondern nur in einem iterativen numerischen Verfahren, wofür es einer CPU mit hoher Rechengenauigkeit bedarf.

Die Schaltanlage steuert zahlreiche Gleichstrom- und Schrittmotoren, pneumatische Elemente, Messaufnehmer und Bedienelemente an. Auch das Bedienkonzept, die Visualisierung und die I/O-Komponenten wurden erneuert. Damit ist das Gerät für viele weitere Jahre konkurrenzfähig.